高效空氣微粒（HEPA）過濾器以前被稱為“高效微粒捕集器”，在第二次世界大戰期間（1939年9月1日-1945年9月2日）最初被開發用來防止核反應堆設施排出的廢氣中的放射性顆粒物。由于具有非常高的過濾效率，HEPA高效過濾器從那時起在工業、醫療、軍事等潔凈室中就已經成為一種重要的技術。
HEPA高效過濾器的過濾介質由細微玻璃纖維制成，其厚度和質地與吸墨紙非常相似。HEPA高效過濾器一向被認為對所有0.3微米和更大的粒子，其最低顆粒去除率高達99.97％。根據美國肺臟協會的標準要求，稱得上是“真正”的HEPA高效過濾器，必須使穿透過濾媒介的粒子比例不得高于萬分之三。
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